科技 中微发布第一代电感耦合等离子体蚀刻设备Primo nanova(R) 2018 / 04 / 11 PR-Newswire 美通社 用于制造最雪铁龙的存储和逻辑芯片 上海2018年3月13日电 /美通社/ -- 中微半导体设备...